輸入電源 | · AC 220V , 50/60 Hz, · 最大射頻功率: 100 W · 真空泵功率: < 500W · 總功率: < 600W |
射頻功率 | · 射頻功率可在 0 - 100W之間調節 · 射頻: 13,56 MHz · 可以與本公司工作人員聯(lián)系采用300W或500W的射頻電源，來(lái)進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗 |
等離子腔體 | · 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 · 鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封 · 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀(guān)察窗口 |
控制面板 | · 通過(guò)6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開(kāi)啟、清洗時(shí)間和氣體流量等. · 儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計，可精確地控制進(jìn)氣流量 |
真空泵（選配） | · 可選一臺240L/min直聯(lián)式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動(dòng)擋板閥。 · 極限真空度為50mTorr
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通入氣體 | 等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據材料性質(zhì)所定） |
等離子清洗及刻蝕的方法 |  |
可選 | · 可選購 2"?-?6"?石英舟來(lái)盛放基片 · 多種混氣系統可選 · 質(zhì)子供氣系統浮子供氣系統 |
外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終生維護 |
